半导体行业用哪种水处理设备
发布时间:2020-04-11
半导体是介于导体和绝缘体之间的一种材料。对水的要求特别高,用水中不能含有离子杂质。所以半导体行业通常用的都是超纯水设备。
超纯水设备主要是由预处理、双级反渗透、EDI模块和后处理装置组成。出水电阻率可以达到18兆欧以上,可以满足半导体行业用水需求。
反渗透系统是超纯水设备的预脱盐核心部分。反渗透处理后的水可以去除大部分无机盐和微生物。其原理是在压力的作用下,水分子通过反渗透膜成为纯水,水中的杂质被反渗透膜截留排出。反渗透是目前先进的也是节能的一种脱盐方式。反渗透工艺在实际应用中主要用于去除水中溶解盐、离子、小分子微粒、有机物,细菌、病毒、放射性离子等杂质,盐份去除率一般在98%以上。
EDI装置结合电渗析和离子交换的优点,克服两者缺点的一项新技术。EDI超纯水处理工艺运行稳定,有效延长了EDI的使用寿命,降低了用户的运营成本。它的工作原理是在直流电场的作用下,水中电解质在离子交换膜上有选择性迁移。利用阴离子交换树脂在水中交换电解质,形成“离子通道”。利用离子交换树脂界面水的极化作用产生的H+和OH-进行电化学再生。
超纯水设备具有运行成本低,易于实现自动化,具有良好的经济效益。该工艺具有先进、成熟、出水水质稳定、系统运行稳定等特点。可用在的半导体行业有:半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路,LCD液晶显示屏、PDP等离子显示屏,高品质显像管、荧光粉生产,半导体材料、晶元材料生产、加工、清洗,超纯材料和超纯化学试剂、超纯化工材料,实验室和中试车间,汽车、家电表面抛光处理,光电产品,其他高科技精微产品等。